产品例: 采用CVD法生产的Shower Head产品,在Etch设备中得到广泛应用。 优势: 1、无热变形 2、无气体释放 3、相比硅材料寿命更长 4、良好的化学稳定性 SiC SUSCEPTOR
采用CVD法生产的Shower Head产品,在Etch设备中得到广泛应用。
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