产品例:
扩散炉中的Wafer Boat,Dummy Wafer等部件需要高纯固体碳化硅材料Solid SiC,东海碳素生产的固体碳化硅正在成为半导体设备零件的理想材料。东海碳素产品以稳定的质量获得了众多客户的信赖。 优势: 1、高纯度 2、耐腐蚀 3、长久寿命 4、强度高 5、能够很好的在有硅的环境中使用。