产品例：
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外延设备在现代半导体行业中是关键的一环，在LED关键设备MOCVD及化合物半导体外延设备中，东海碳素的碳化硅SiC及碳化钽TaC涂层石墨盘被广泛应用。东海碳素的化学气相沉积的SiC涂层工艺有以下几大优势： 1、出色的抗热冲击阻力 2、出色的抗物理冲击阻力 3、出色的耐化学性 4、超高纯度 5、可加工成各种复杂的形状 6、在氧化环境下仍然可以使用 7、较长的寿命 |
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涂层石墨盘 |
