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     外延设备在现代半导体行业中是关键的一环,在LED关键设备MOCVD及化合物半导体外延设备中,东海碳素的碳化硅SiC及碳化钽TaC涂层石墨盘被广泛应用。东海碳素的化学气相沉积的SiC涂层工艺有以下几大优势:
1、出色的抗热冲击阻力
2、出色的抗物理冲击阻力
3、出色的耐化学性
4、超高纯度
5、可加工成各种复杂的形状
6、在氧化环境下仍然可以使用
7、较长的寿命
                                 

涂层石墨盘

如有需求,请联系我司销售专线。







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